CN119779156A 一种位移测量方法、装置和系统 （南方科技大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119779156A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202311288111.2

(22)申请日2023.10.07

(71)申请人南方科技大学

地址518000广东省深圳市南山区桃源街

道学苑大道1088号

(72)发明人张福才刘涛王冰洋赵江涛

(74)专利代理机构北京汇鑫君达知识产权代理

有限公司11769

专利代理师刘湘菲

(51)Int.Cl.

G01B11/02(2006.01)

权利要求书5页说明书18页附图9页

(54)发明名称

一种位移测量方法、装置和系统

(57)摘要

CN119779156A本申请提供一种测量方法、装置和系统，该方法包括：分别获取待测物体的第一部位和第二部位的出射波的初始函数为输入，分别执行至少一次第i迭代，在每一次迭代中：通过在物体平面、调制器平面和检测器平面之间对所述第i部位的出射波进行往复传播，且在所述检测器平面根据所述第i部位的出射波的实际衍射强度对所述第i部位的出射波进行振幅约束；得到第i部位的出射波在所述物体平面上的重建函数；根据所述第一部位和第二部位的出射波的重建函数，使用图像配准算法计算所述第一部位和所述第二部位之间的位移向量。本申请可以在没有定位系统的情况下获取到扫描位置的相