脉冲调制射频大气压辉光放电击穿特性的深度剖析与机制探究.docxVIP

脉冲调制射频大气压辉光放电击穿特性的深度剖析与机制探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学与工业领域，等离子体技术凭借其独特的物理和化学性质，成为了众多前沿研究和实际应用的关键支撑。其中，大气压辉光放电作为一种重要的非热等离子体产生方式，因其能够在常压环境下运行，避免了复杂且昂贵的真空设备需求，极大地拓宽了等离子体技术的应用范围，在材料表面改性、生物医学、环境保护、新能源开发等诸多领域展现出了巨大的应用潜力，成为了等离子体领域的研究热点之一。

射频（RF）电源驱动的大气压辉光放电，具有易击穿、能够实现大面积均匀辉光放电的显著优势，尤其适合工业化大规模生产的需求，在等离子体刻蚀、材料