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- 2026-06-24 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119662134A
(43)申请公布日2025.03.21
(21)申请号202411848148.0
(22)申请日2024.12.16
(71)申请人万华化学集团电子材料有限公司
地址265503山东省烟台市中国（山东）自
由贸易试验区烟台片区烟台开发区北
京中路50号
(72)发明人王庆伟徐贺李国庆王永东
王瑞芹
(51)Int.Cl.
C09G1/02(2006.01)
H01L21/306(2006.01)
权利要求书2页说明书11页
(54)发明名称
一种硅片抛光组合物及其制备工艺
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