CN119673769A 一种单片式清洗机的刻蚀方法及刻蚀装置 （珠海天成先进半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119673769A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202411870760.8

(22)申请日2024.12.18

(71)申请人珠海天成先进半导体科技有限公司

地址519080广东省珠海市高新区唐家湾

镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1

层628室(集中办公区)

(72)发明人陈雷达武洋张鹏磊

(74)专利代理机构西安通大专利代理有限责任

公司61200

专利代理师范巍

(51)Int.Cl.

H01L21/3213(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/683(2006.01)