CN119673794A 一种声学器件压电薄膜表面应力的测试方法 (合肥荃智空天信息超高频半导体研究院有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-25 发布于重庆
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CN119673794A 一种声学器件压电薄膜表面应力的测试方法 (合肥荃智空天信息超高频半导体研究院有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119673794A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202411855975.2G01L1/00(2006.01)

H01L23/544(2006.01)

(22)申请日2024.12.17

H10N30/00(2023.01)

(71)申请人合肥荃智空天信息超高频半导体研

究院有限公司

地址230012安徽省合肥市新站区磨店社

区文忠路与魏武路交口西南角少荃湖

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