基于压电陶瓷驱动的纳米定位平台迟滞建模与逆补偿控制.docx

PAGE2

基于压电陶瓷驱动的纳米定位平台迟滞建模与逆补偿控制

摘要

纳米定位技术是精密制造、扫描探针显微镜和半导体检测等领域的核心支撑，压电陶瓷致动器因其亚纳米级分辨率和快速响应而被广泛采用。然而，其固有的迟滞非线性严重制约了定位精度，开环控制下误差可达行程的10%–15%。本设计性课题以压电陶瓷驱动的纳米定位平台为对象，研究基于Prandtl-Ishlinskii（PI）模型的迟滞建模与逆补偿前馈控制方法，旨在将定位精度提升至纳米量级。

论文首先分析了迟滞特性对精密定位的影响，明确了设计目标与性能指标；随后，介绍了PI模型的基本原理及其在迟滞描述中的适用性，并完成了技术选型论证。在需