CN120221464A 一种共晶机用预热装置及预热方法 （佑光智能半导体科技(深圳)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120221464A

(43)申请公布日2025.06.27

(21)申请号202510372928.0H05B3/06(2006.01)

(22)申请日2025.03.27

(71)申请人佑光智能半导体科技（深圳）有限公

司

地址518172广东省深圳市龙岗区坪地街

道四方埔社区牛眠岭新村24号201

(72)发明人李金龙李德荣

(74)专利代理机构北京维正专利代理有限公司

11508

专利代理师叶泳琪

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/683(2006.01)