CN120213588A 一种碳化硅腐蚀装置及其工作方法 (山东大学).pdfVIP

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  • 2026-06-25 发布于重庆
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CN120213588A 一种碳化硅腐蚀装置及其工作方法 (山东大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120213588A

(43)申请公布日2025.06.27

(21)申请号202510367015.XF27B17/02(2006.01)

F27D7/02(2006.01)

(22)申请日2025.03.26

F27D3/12(2006.01)

(71)申请人山东大学

F27D1/18(2006.01)

地址250100山东省济南市历城区山大南

路27号

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