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基于多模干涉的位移传感器：原理、设计与性能优化

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技发展的进程中，位移传感器作为一种能够精确测量物体位置或位移变化的关键设备，广泛应用于工业自动化、航空航天、汽车制造、生物医学、建筑工程等众多领域。在工业自动化领域，位移传感器用于数控机床、机器人、自动化生产线等设备中，实现对机械部件位置和运动轨迹的精确控制，从而保障生产过程的高精度和稳定性，提高生产效率与产品质量。在航空航天领域，位移传感器用于监测飞行器结构变形、振动情况以及姿态控制和导航系统中，对于确保飞行安全和飞行器性能起着至关重要的作用。在生物医学研究中，位移传感器可用于无创生理参数监测，辅助医