微型化自由运行InGaAs_InP单光子探测器(特邀).pdfVIP

第52卷第3期红外与激光二程2023年3月

Vol.52No.3InfraredandLaserEngineeringMar.2023

微型化自由运行InGaAs/InP单光子探测器（特邀）

起，王雪峰，马睿，杜先常，刘，韦塔，黄传成，

蒋连军，方余强*，余超，徐走

赵于康，梁君生，尚祥3，申屠国探，于林，唐世彪，张军2

(1.科大国盾量子技术股份有限公司，安徽合肥230088；

2.中国科学技术大学中国科学院量子信息与量子科技创新研究院，安徽合肥230026；

3.山东国耀量子雷达科技有限公司，山东济南250102)

摘要：单光子探测器具有最高的光探测灵敏度，在激光雷达系统中使用单光子探测器可以极大提升

系统的综合性能。近红外二区(1.0~1.7μm)激光具有大气透过率高、散射弱、太阳背景辐射弱等优势，

是大气遥感、三维成像等激光雷达系统的理想工作波段。研制了一种基于InGaAs