CN119804330A 晶圆检测光源亮度的自适应调控方法及装置 （深圳市晟大光电有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119804330A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510301440.9

(22)申请日2025.03.14

(71)申请人深圳市晟大光电有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区石岩街

道上屋社区爱群路同富裕工业区8-6#

厂房一层、二层、三层、四层、五层

(72)发明人王敏军李国鑫

(74)专利代理机构北京华艺德嘉知识产权代理

有限公司16326

专利代理师王爱军

(51)Int.Cl.

G01N21/01(2006.01)

G01N21/95(2006.01)

权利要求书4页说明书17页附图2页

(54)发明名称

晶圆检测光源亮度的自适应调控方法及装

置

(57)摘要

CN119804330A本发明涉及光源控制的技术领域，公开了一种晶圆检测光源亮度的自适应调控方法及装置，本发明通过预设的环形光源对晶圆进行初步照射，并采集初始图像数据，根据初始检测数据进行数字模拟，生成晶圆检测反馈模型，依据检测反馈模型分析光源照射需求，生成梯度执行方案，根据梯度方案依次配置光源参数，对晶圆进行多轮检测并收集数据，将检测数据反馈至模型，进行参数调节，调整后的模型进行拓展光源检测需求分析，生成拓展检测方案，并进行最终检测，该方法通过自动化调节