(正式版)DB1310∕T 227-2020 《电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范》.pdfVIP

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(正式版)DB1310∕T 227-2020 《电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范》.pdf

ICS31.030

L90

DB1310

廊坊市地方标准

DB1310/T227—2020

电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺

技术规范

2020-10-16发布

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