CN119804281A 一种盐雾环境参数检测微纳传感器及其制备和测量方法 （宁波大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119804281A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202411733400.3

(22)申请日2024.11.29

(66)本国优先权数据

202311805181.02023.12.26CN

(71)申请人宁波大学

地址315000浙江省宁波市江北区风华路

818号

(72)发明人曹任涛尹加文金庆辉林娟

仝晗阳李守宏孙雅哲车亚辰

(74)专利代理机构宁波甬致专利代理有限公司33228

专利代理师袁波

(51)Int.Cl.

G01N17/00(2006.01)

B81B7/02(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

G01D21/02(2006.01)

G01N27/06(2006.01)

G01N27/22(2006.01)

权利要求书3页说明书7页附图5页

(54)发明名称

一种盐雾环境参数检测微纳传感器及其制

备和测量方法

(57)摘要

CN119804281A本发明提供了一种盐雾环境参数检测微纳传感器及其制备和测量方法，包括：硅基片，上表面和下表面分别设有SiO2绝缘层和第一Si3N4薄膜；第一Pt电阻，设于SiO2绝缘层的上表面，上表面沉积有第二Si3N4薄膜，