CN119790026A 水系显影废液的处理方法及处理装置、以及显影系统 （旭化成株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119790026A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202380062434.1

(22)申请日2023.08.30

(30)优先权数据

2022-1399312022.09.02JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.26

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0313922023.08.30

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/048625JA2024.03.07

(71)申请人旭化成株式会社地址日本

(72)发明人长谷川亮