CN119790181A 成膜装置、成膜装置的驱动方法及成膜方法 （佳能特机株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119790181A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202380062876.6

(22)申请日2023.06.08

(30)优先权数据

2022-1396562022.09.02JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.28

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0213272023.06.08

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/047999JA2024.03.07

(71)申请人佳能特机株式会社地址日本

(72)发明人石井博