CN119804330B 晶圆检测光源亮度的自适应调控方法及装置 （深圳市晟大光电有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN119804330B

(45)授权公告日2025.06.13

(21)申请号202510301440.9

(22)申请日2025.03.14

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119804330A

(43)申请公布日2025.04.11

(73)专利权人深圳市晟大光电有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区石岩街

道上屋社区爱群路同富裕工业区8-6#厂房一层、二层、三层、四层、五层

(72)发明人王敏军李国鑫

(74)专利代理机构北京华艺德嘉知识产权代理

有限公司16326

专利代理师王爱军

(51)Int.Cl.

G01N21/01(2006.01)

G01N21/95(2006.01)

(56)对比文件

CN118603991A,2024.09.06

CN118781062A,2024.10.15

CN118896958A,2024.11.05审查员覃晓凤

权利要求书4页说明书17页附图2页

(54)发明名称

晶圆检测光源亮度的自适应调控方法及装

置

(57)摘要

CN119804330B本发明涉及光源控制的技术领域，公开了一种晶圆检测光源亮度的自适应调控方法及装置，本发明通过预设的环形光源对晶圆进行初步照射，并采集初始图