晶圆传输机器人系列编程：Fanuc M-10iD_10L_（10）.安全与防护措施.docx

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安全与防护措施

在半导体制造行业中，晶圆传输机器人的安全与防护措施是至关重要的。这些措施不仅确保了机器人的正常运行，还保障了操作人员和生产环境的安全。本节将详细介绍FanucM-10iD_10L晶圆传输机器人在编程和操作过程中应采取的各种安全措施，包括硬件防护、软件防护、紧急停止、安全区域设置等。

硬件防护

1.机械限位器

机械限位器是安装在机器人关节上的物理装置，用于限制关节的运动范围，防止机器人运动超出预定的范围而造成损坏或安全事故。这些限位器通常由机械结构和传感器组成，当机器人运动到限位器的设定位置时，传感器会发出信号，使机器人停止运动。

原理