晶圆检测机器人系列编程：KLA-Tencor 2920_（15）.KLA-Tencor2920的编程案例：晶圆对准与校正.docx

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晶圆对准与校正

在晶圆检测机器人系列编程中，晶圆对准与校正是一个非常重要的步骤。晶圆的对准与校正不仅影响检测的精度，还决定了后续工艺的顺利进行。本节将详细介绍KLA-Tencor2920晶圆检测机器人在晶圆对准与校正方面的原理和编程方法。

晶圆对准的原理

晶圆对准是指将晶圆放置在检测平台上，使其与检测设备的坐标系对齐。这一步骤的目的是确保晶圆的各个区域能够准确地被检测设备扫描。晶圆对准通常涉及以下几个步骤：

晶圆定位：通过摄像头或其他传感器获取晶圆的位置信息。

坐标转换：将晶圆的实际位置转换为检测设备的坐标系。

位置调整：通过机械臂或平台移动，将晶圆调