CN119804995B 晶圆的电阻率检测装置及方法 （浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN119804995B

(45)授权公告日2025.06.17

(21)申请号202510289592.1

(22)申请日2025.03.12

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119804995A

(43)申请公布日2025.04.11

(73)专利权人浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司

地址323000浙江省丽水市莲都区南明山

街道绿谷大道309号国际车城15号楼11层-241

(72)发明人徐新华

(74)专利代理机构浙江维创盈嘉专利代理有限

公司33477

专利代理师胡根平

(51)Int.Cl.

G01R27/08(2006.01)

G01R31/26(2020.01)

G01R31/28(2006.01)

G01R1/04(2006.01)

G01R1/073(2006.01)

(56)对比文件

CN119270030A,2025.01.07

CN219657741U,2023.09.08审查员孟广敏

权利要求书2页说明书7页附图11页

(54)发明名称

晶圆的电阻率检测装置及方法

(57)摘要

CN119804995B本发明公开了一种晶圆的电阻率检测装置及方法，涉及检测技术领域，包括探头和测量仪，所述探头下端设置有四个