化学机械抛光机器人系列编程：Hitachi FPP-300_13.安全操作规程.docx

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安全操作规程

13.1机器人启动前的安全检查

在启动化学机械抛光机器人（FPP-300）之前，进行安全检查是确保设备和人员安全的重要步骤。安全检查包括但不限于以下几个方面：

13.1.1机械部分检查

检查机器人各关节和运动部件是否有异常磨损或损坏：确保所有机械部件都处于良好状态，没有松动、损坏或异常磨损。

检查紧固件是否紧固：确保所有螺丝、螺母等紧固件都已牢固固定，没有松动。

检查导轨和滑块是否清洁：确保导轨和滑块没有灰尘、杂质或其他可能影响运动的障碍物。

13.1.2电气部分检查

检查电源线和接地线是否完好：确保电源线和接地线没有损坏，连接牢固。