Anatel-Ultrapure-100-颗粒计数器-说明书.pdfVIP

颗粒计数加上业界标准的TOC分析技术

Ultrapure-100为电子制造业的去离子水设施监测和清洗过程提供一体化方案

颗粒计数器

超纯水(UPW)设施以及水清洗系统的颗粒Ultrapure-100将所有的坚固的光-机械装

电子制造业监视和控制,对越来越多类型的制造工业愈置,计数和通信电子线路以及独特的流量控

的颗粒计数来愈重要.例如,诸如平板显示器(FPD)和硬制系统都结合在一台仪器里并达到无可相

盘驱动器(HDD)部件的精密制造技术的改比的性能.在高液压的应用,诸如去离子水

进要求能测出过程液体中小到0.1µm的污设施监测,总的系统流速会超过1.0升/分钟.

染物颗粒。这样就要求非常快的清洗和恢复时间以及

优良的流量调节