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CN119747292A 一种用于电子级多晶硅硅芯的清洗方法 （珐玛泰克工业自动化(上海)有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-06-27 发布于重庆
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CN119747292A 一种用于电子级多晶硅硅芯的清洗方法 （珐玛泰克工业自动化(上海)有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119747292A

    (43)申请公布日2025.04.04

    (21)申请号202411851875.2

    (22)申请日2024.12.16

    (71)申请人珐玛泰克工业自动化（上海）有限公

    司

    地址201403上海市奉贤区金碧路1990号1

    层

    (72)发明人王阳林多娇

    (74)专利代理机构北京知高高专利代理事务所

    (普通合伙)16331

    专利代理师孙帅

    (51)Int.Cl.

    B08B3/04(2006.01)

    B08B3/12(2006.01)

    B08B3/08(2006.01)

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