化学机械抛光机器人系列编程：Hitachi FPP-300_11.传感器集成与应用.docx

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11.传感器集成与应用

11.1传感器类型及其功能

在化学机械抛光（CMP）机器人系统中，传感器的集成是实现高效、精准抛光的关键。本节将介绍几种常见的传感器类型及其在CMP机器人中的应用。

11.1.1位置传感器

位置传感器用于监测机器人各关节和工具端的位置。常见的位置传感器包括编码器和线性位移传感器。

编码器

编码器是一种将机械位移转换为电信号的设备，通常用于监测旋转轴的位置。在HitachiFPP-300机器人中，编码器可以安装在各个关节上，以实时监测关节的角度位置。

原理：

编码器通过检测旋转轴的转角，将其转换为电信号输出。根据编码器的类型