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- 2026-06-27 发布于四川
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ICS31.200
CCSL55
中华人民共和国国家标准
/—
GBT477252026
微机电系统()技术
MEMS
硅通孔三维结构可靠性评价要求
()—
Micro-electromechanicalsstemsMEMStechnolo
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Reuirementsforreliabilitevaluationofthree-dimensionalstructure
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