EUV光刻机技术进展与挑战:清华SB项目.pdfVIP

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  • 2026-06-28 发布于北京
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EUV光刻机技术进展与挑战:清华SB项目.pdf

005|EUV光刻机被我们攻克了吗?(下)

欢迎回到《科技参考》,我是

昨天,我们解释了刷了屏的“EUV光刻机被攻克了”为什么是谣

言,最后还留了一个问题:《稳态微聚束原理的实验演示》这篇

确实和EUV光刻机有点关系啊?为什么不能当作技术突破去看待呢?

如果和光刻机一点联系都没有,也不会被刷屏式的,但关键是,

这只是停留在理论上,离实际光刻机还远得很,更谈不上攻克1nm的

EUV光刻机了。

我们来看

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