CN119859790A 氧化镓薄膜的生长方法 （蓝河科技(绍兴)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119859790A

(43)申请公布日2025.04.22

(21)申请号202510353280.2

(22)申请日2025.03.25

(71)申请人蓝河科技（绍兴）有限公司

地址311800浙江省绍兴市诸暨市陶朱街

道万旺路8号1号楼1楼

(72)发明人黄小辉徐春阳邢志刚林桂荣

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通

合伙)31219

专利代理师余明伟

(51)Int.Cl.

C23C16/40(2006.01)

C23C16/52(2006.01)

权利要求书2页说明书13页附图12页