123456789101112解析光刻机做受迫振动,其振动频率等于外来驱动频率,不一定等于其自身的固有频率。光刻机自身结构以及质量影响其自身的固有频率,若固有频率等于外来驱动频率时,发生共振现象,振幅最大,所以光刻机工作时的振动振幅受自身结构以及质量的影响,故A、B错误;为了防止发生共振现象,应该使光刻机系统的固有频率尽量远离周围可能存在的振源的振动频率。若减振装置的弹性力与外来驱动力的方向始终相反,将有助于减振,故C、D正确。1234567891011127.(多选)如图所示为路面共振破碎机,用于旧水泥路面破碎。破碎机工作锺头上装有专用传感
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