CN119927442A 一种基于深紫外激光的反射镜表面疏水微纳结构刻写装置及方法 （台州光电产业创新中心）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119927442A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510366353.1

(22)申请日2025.03.26

(71)申请人台州光电产业创新中心

地址318000浙江省台州市椒江区海门街

道聚业路8号

(72)发明人黄敏航

(74)专利代理机构台州天祺专利代理事务所

(普通合伙)33331

专利代理师王天清

(51)Int.Cl.

B23K26/362(2014.01)

G02B26/10(2006.01)

G02B1/18(2015.01)

B23K26/70(2014.01)