CN119812069A 一种带固定结构的硅片花篮及其固定方法 （深圳市石金科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119812069A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510294227.X

(22)申请日2025.03.13

(71)申请人深圳市石金科技股份有限公司

地址518127广东省深圳市宝安区燕罗街

道塘下涌社区安润路2号101，201,301

(72)发明人成如诗毛爱民李文红付浩然吴峰光

(74)专利代理机构上海笃学志远专利代理事务所(普通合伙)31541

专利代理师程雪

(51)Int.Cl.

H01L21/673(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图9页

(54)发明名称

一种带固定结构的硅片花篮及其固定方法

(57)摘要

CN119812069A本发明公开了一种带固定结构的硅片花篮及其固定方法，涉及硅片花篮技术领域，包括第一端板和第二端板，第一端板和第二端板间固定设置有多个均匀分布的花篮齿杆，花篮齿杆上开设有多个等距设置的硅片槽，硅片槽内开设有放置槽，第二端板上固定设置有防护罩，还包括导向槽、用于固定放置在硅片槽内的硅片的固定机构、设置于第二端板上的传动机构以及设置于防护罩上的驱动机构。本装置通过设置有固定机构，从而使得工作人员在将硅片放入花篮齿杆上的硅片槽后，本装置可同时对多个硅片进行同步的按压固定，从而避