ISO 21360-62023 真空技术测量真空泵性能的标准方法第6部分低温真空泵标准立项发展报告.docx

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真空技术测量真空泵性能的标准方法第6部分：低温真空泵标准立项发展报告

英文标题：StandardizationDevelopmentReport:Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pumpperformance—Part6:Cryogenicvacuumpumps

摘要

关键词：低温真空泵；真空技术；性能测量；国际标准；ISO21360-6；抽速；极限压力；测试方法

Keywords:Cryogenicvacuumpump;Vacuumtechnology;Performa