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低温溶液法制备氧化锆薄膜及其在薄膜晶体管中的应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学与电子器件领域，氧化锆薄膜和薄膜晶体管均占据着举足轻重的地位，它们的发展对于推动众多关键技术的进步至关重要。

氧化锆（ZrO?）薄膜凭借其一系列优异特性，在诸多领域展现出广阔的应用前景。从物理性质来看，它拥有较高的熔点，可达2700℃左右，这使其在高温环境下能够保持稳定的结构和性能，因此在航空航天、冶金等高温领域有着重要应用，例如作为航空发动机热障涂层的关键材料，有效保护发动机部件在高温燃气冲刷下不被损坏。氧化锆薄膜还具备良好的化学稳定性，不易与常见的化学物质发生反应，这一特性使其在化学传