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真空镀膜设备安全员理论考试练习试卷

一、单选题（共50题，每题1分，计50分）

1.真空镀膜设备中，用于产生等离子体的主要部件是（A）。

A.电极系统

B.真空泵

C.冷却系统

D.控制柜

2.真空度测量中，Pascals（Pa）与Torr的换算关系为1Torr约等于（B）Pa。

A.760

B.133.322

C.101325

D.1.01325×10?

3.镀膜过程中，导致膜层厚度不均匀的主要原因是（C）。

A.真空度不足

B.沉积速率过高

C.工件表面温度差异

D.气体流量不稳定

4.真空镀膜设备中，水冷壁的主要作用是（A）。

A.散热和防止等离子体污染

B.提升真空度

C.控制沉积速率

D.保护电气元件

5.当真空镀膜设备出现“腔体漏气”时，应优先检查（B）。

A.真空泵油位

B.密封圈和法兰面

C.电极连接

D.控制程序

6.等离子体源在镀膜过程中主要作用是（D）。

A.直接沉积膜层

B.冷却工件

C.提供真空环境

D.离化靶材原子

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