CN120033120A 一种晶圆盘芯片点墨标记设备及方法 (浙江芯丰科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-30 发布于重庆
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CN120033120A 一种晶圆盘芯片点墨标记设备及方法 (浙江芯丰科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120033120A

(43)申请公布日2025.05.23

(21)申请号202510355725.0

(22)申请日2025.03.25

(71)申请人浙江芯丰科技有限公司

地址318000浙江省台州市开发大道东段

188号3号楼1楼3101号

(72)发明人陈洁

(74)专利代理机构北京一品慧诚知识产权代理

有限公司11762

专利代理师叶雅萍

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/68(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书

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