CN119816709A 红外微测辐射热计探测器及其设计方法、制造方法和系统 （黄东琪）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119816709A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202280099755.4

(22)申请日2022.09.06

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.03.04

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/CN2022/1171372022.09.06

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/050677ZH2024.03.14

(71)申请人黄东琪

地址215131江苏省苏州市相城经济技术

开发区澄阳路116号

(72)发明人黄东琪

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师孔祥贵

(51)Int.Cl.

G01J5/20(2006.01)

G01J5/0806(2022.01)

(54)发明名称

红外微测辐射热计探测器及其设计方法、制

造方法和系统

(57)摘要

CN119816709A一种红外微测辐射热计探测器(100)及其设计方法、制造方法和系统，包括：第一衬底、探测器读出电路(106)、微测辐射热计微机电系统结构(105)和像素级超表面层(102)，像素级超表面层(102)包括多个像素级超表面最小单元(304)，像素级超表面最小单元(304)的尺寸M满定以下条件：Mλ/2nmeta