CN119314916A 一种提供氮气保护环境的晶圆盒装载装置及其使用方法 (北京锐洁机器人科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-01 发布于重庆
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CN119314916A 一种提供氮气保护环境的晶圆盒装载装置及其使用方法 (北京锐洁机器人科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119314916A

(43)申请公布日2025.01.14

(21)申请号202411835111.4

(22)申请日2024.12.13

(71)申请人北京锐洁机器人科技有限公司

地址100176北京市通州区北京经济技术

开发区科创十四街99号33幢C栋603室

(72)发明人牛立群安国栋刘冬梅王强

王勇

(74)专利代理机构北京星通盈泰知识产权代理

有限公司11952

专利代理师殷璐

(51)Int.Cl.

H01L21/673(2006.01)

权利要求书3页说明书8页附图9页

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