CN119291304A 一种半导体器件的电阻测试装置及其测试方法 (浙江创芯集成电路有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-01 发布于重庆
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CN119291304A 一种半导体器件的电阻测试装置及其测试方法 (浙江创芯集成电路有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119291304A

(43)申请公布日2025.01.10

(21)申请号202411824006.0

(22)申请日2024.12.12

(71)申请人浙江创芯集成电路有限公司

地址310000浙江省杭州市萧山区经济技

术开发区建设三路733号

(72)发明人王泽楠汪海

(74)专利代理机构杭州君度专利代理事务所

(特殊普通合伙)33240

专利代理师朱亚冠

(51)Int.Cl.

G01R27/02(2006.01)

G01R31/26(2020.01)

H01L23/544(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

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