CN119820121A 一种用于石英晶体晶圆激光微调方法 （北京精恒工控科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119820121A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202510201083.9

(22)申请日2025.02.24

(71)申请人北京精恒工控科技有限公司

地址101118北京市通州区宋庄镇草寺村

委会南300米

(72)发明人廖占武

(74)专利代理机构北京博海嘉知识产权代理事务所(普通合伙)16007

专利代理师王静

(51)Int.Cl.

B23K26/362(2014.01)

B23K26/082(2014.01)

B23K26/70(2014.01)

权利要求书3页说明书9页附图1页

(54)发明名称

一种用于石英晶体晶圆激光微调方法

(57)摘要

CN119820121A本发明涉及石英晶体加工技术领域，公开了一种用于石英晶体晶圆激光微调方法，该方法包括：实时采集晶圆加工时的晶圆数据和激光数据；将振动频率与预设标准振动频率范围作比对，根据振动频率和标准振动频率范围确定调整系数，根据调整系数对扫描速度进行调整；根据晶圆的若干烧蚀深度和预设的烧蚀深度标准值计算烧蚀偏差值，构建烧蚀深度偏差序列，根据烧蚀深度偏差序列判断是否对激光功率进行调整；根据烧蚀偏差绝对值最大值和烧蚀偏差绝对值均值计算烧蚀均匀度，根据烧蚀深度偏差序列中不合格数量