单晶硅同心圆黑角检测预处理实用方法.pdfVIP

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

蚀将酸性溶液腐蚀后的样片清洗酸液残留将清洗酸液残留的样片退火处理将退火处理的样片自然风干后使用碱性溶液煮制将煮制处理后的样片进行少子寿命测试法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态公开公开实质审查的生效公开公开实质审查的生效权利要求说明书

（10）申请公布号

CN109273377A

（43）申请公布日2019.01.25

（21）申请号CN201811020607.0

（22）申请日2018.09.03

（71）申请人宁晋晶兴电子材料有限公司

地址054000河北省邢台市宁晋县晶龙大街267号

（72）发明人张浩强;杨红涛;柳志强;杨建勇;焦鹏;李双凯;李春辉

（74）专利代理机构北京慕达星云知识产权代