CN119314866A 晶圆擦洗设备、擦洗系统、抛光设备及晶圆清洗方法 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119314866A

(43)申请公布日2025.01.14

(21)申请号202411843414.0

(22)申请日2024.12.14

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人李灯李长坤

(51)Int.Cl.

H01L21/02(2006.01)

B08B1/12(2024.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书11页附图5页

(54)发明名称

晶圆擦洗设备、擦洗系统、抛光设备及晶圆

清洗方法

(57)摘要

本