CN119304714A 回转传动系统、晶圆减薄机及其控制方法 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119304714A

(43)申请公布日2025.01.14

(21)申请号202411843412.1F16H7/12(2006.01)

(22)申请日2024.12.14

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人韩理文付永旭马旭刘远航

路新春

(51)Int.Cl.

B24B7/22(2006.01)

B24B41/06(2012.01)

B24B49/16(2006.01)

B24B1/00(2006.01)

B24B55/00(2006.01)