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- 2026-07-02 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119575765A
(43)申请公布日2025.03.07
(21)申请号202411840075.0
(22)申请日2024.12.13
(71)申请人哈尔滨工业大学
地址150000黑龙江省哈尔滨市南岗区西
大直街92号
申请人上海微电子装备（集团）股份有限公
司
(72)发明人吴剑威周永松郑健张玉荣
(74)专利代理机构北京隆源天恒知识产权代理
有限公司11473
专利代理师闵业冰
(51)Int.Cl.
G03F7/20(2006.01)
权利要求书3页说明书9页附图
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