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CN119650476A 一种多尺寸晶圆清洗干燥用分离装置及方法 （苏州冠礼科技有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-07-03 发布于重庆
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CN119650476A 一种多尺寸晶圆清洗干燥用分离装置及方法 （苏州冠礼科技有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119650476A

    (43)申请公布日2025.03.18

    (21)申请号202411827623.6

    (22)申请日2024.12.12

    (71)申请人苏州冠礼科技有限公司

    地址215000江苏省苏州市高新区浒墅关

    开发区石林路189号

    (72)发明人黄自柯纪心宇丁文标高峰

    汪恺张雨

    (74)专利代理机构苏州创智高诺知识产权代理

    有限公司32843

    专利代理师唐静芳

    (51)Int.Cl.

    H01L21/67(2006.01)

    B08B13/00(2006.01)

    权利要求书2

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