原创力文档（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
域生成的硅烷上升进入反应精馏塔的精馏段进行分离提纯后从反应精馏塔的塔顶排出即得到硅烷法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态公开实质审查的生效发明专利申请公布后的驳回公开实质审查的生效发明专利申请公布后的驳回权利要求说明书硅烷的生产方法的
（10）申请公布号
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