CN119827305A 一种碳化硅晶片检测设备及方法 （北京天科合达半导体股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119827305A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202510189615.1

(22)申请日2025.02.20

(71)申请人北京天科合达半导体股份有限公司

地址102699北京市大兴区丰远街1号院1

号楼

申请人江苏天科合达半导体有限公司

(72)发明人吕春飞郭钰张世颖殷倩倩娄艳芳刘春俊

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师王娇娇

(51)Int.Cl.

G01N3/10(2006.01)

G01N3/02(2006.01)

G01N3/06(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图4页

(54)发明名称

一种碳化硅晶片检测设备及方法

(57)摘要

CN119827305A本申请公开了一种碳化硅晶片检测设备及方法，本申请公开的碳化硅晶片检测设备，通过检测台可拆卸地固定连接碳化硅晶片，且检测台具有容置碳化硅晶片的镂空部，以使碳化硅晶片能够在固定的情况下具有沿其轴向产生弹性形变的空间；通过检测单元的气动件向碳化硅晶片提供载荷，以使碳化硅晶片沿其轴向产生形变，并通过检测件检测碳化硅晶片沿其轴向产生的形变量，从而可计算得出碳化硅晶片的弯曲刚度，实现了对碳化硅晶片刚度的量化