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MEMS电镀铜薄膜疲劳特性剖析与寿命精准预测研究

一、引言

1.1研究背景与意义

微电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）作为一门极具创新性的交叉学科技术，将微型机械与微型电子器件有机融合，能够制造出集微小机械结构、传感器、执行器和电子器件于一体的微型系统。MEMS技术凭借其微小尺寸、低功耗、高性能等显著特点，在生物医学、通信、交通、环境监测等众多领域得到了广泛应用。在生物医学领域，MEMS技术结合电镀工艺可制备微型生物传感器，用于检测生物分子或细胞，实现生物医学诊断、药物筛选和基因组学研究等；在通信领域，可制备微型天线和微型射频器件