CN119830522A 用于x射线平面镜的面形误差自校准拼接检测方法及系统 （中国人民解放军国防科技大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119830522A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202411728248.X

(22)申请日2024.11.28

(71)申请人中国人民解放军国防科技大学

地址410073湖南省长沙市开福区砚瓦池

正街47号

(72)发明人薛帅戴一帆彭小强胡皓杜春阳

(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008

专利代理师谭武艺

(51)Int.Cl.

G06F30/20(2020.01)

G01B15/00(2006.01)

G01B15/04(2006.01)

G01M11/00(2006.01)

G01M11/02(2006.01)

权利要求书2页说明书12页附图8页

(54)发明名称

用于X射线平面镜的面形误差自校准拼接检

测方法及系统

(57)摘要

CN119830522A本发明公开了一种用于X射线平面镜的面形误差自校准拼接检测方法及系统，本发明包括基于环境扰动误差和其他固定设置、将附加误差源取值为零，开展测量参数的多因素多水平自校准拼接测量仿真以获得优化后的测量参数及误差；基于优化后的测量参数对各附加误差源开展单因素多水平的自校准拼接测量仿真以获得各项附加误差源引起的误差；计算各附加误差源所需的误