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真空获得设备研发工程师考试试卷及答案

一、填空题（共10题，每题1分）

1.真空领域中，1torr约等于______Pa（取近似值）。

2.旋片式真空泵属于______真空（粗/高）泵。

3.分子泵主要用于获得______真空（高/超高）。

4.真空系统中隔离泵与容器的阀门称为______阀。

5.扩散泵的核心部件是多级______。

6.真空检漏常用的卤素检漏法针对______气体。

7.1标准大气压约等于______torr。

8.干式真空泵的显著特点是无______污染。

9.真空镀膜设备常用抽气组合：机械泵+______泵。

10.真空度高低用压强______表示（压强越小真空度越高）。

二、单项选择题（共10题，每题2分）

1.以下适用于粗真空（10?~10?1Pa）的泵是？

A.分子泵B.旋片泵C.离子泵D.扩散泵

2.扩散泵的工作原理基于______？

A.气体扩散B.机械压缩C.油蒸气喷射D.电离吸附

3.真空系统极限真空指______？

A.最低压强B.最大抽速C.容器容积D.抽气时间

4.属于干式真空泵的是？

A.滑阀泵B.罗茨泵C.油旋片泵D.水环泵

5.氦质谱检漏仪检测极限可达______Pa·m3/s？

A.10?12B.10??C.10?3D.10?

6.分子泵抽速与______无关？

A.转速B.气体分子量C.口径D.环境温度

7.防止大气倒灌的阀门是