氧空位形成原理及材料科学实用应用.pdf

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氧空位的形成原理及其在材料科学中的应用

氧空位的基本定义与背景

降低电子信息功能材料在阻变存储器中氧空位的形成与迁移是阻变现象的物理基础美国密歇根大学团队发现控制中的氧空位浓度可使器件开关比达耐久性超过次铁电材料中氧空位可钉扎畴壁实现非易失性存储德国于利希研究中心利用原子层沉积技术精确调控中的氧空位分布

氧空位是指金属氧化物或其他含氧化合物中,由于氧原子脱离晶格位置而

形成的晶体缺陷。这种缺陷在半导体材料中尤为常见,其存在会显著影响材料

的电子结构、几何构型以及表面化学性质。从微观角度看,氧空位的形成打破

了晶

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