CN119852195A 一种晶圆表面缺陷的检测方法、装置、设备及介质 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119852195A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202411842527.9

(22)申请日2024.12.13

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710065陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司

(72)发明人杨震王琳王雷

(74)专利代理机构西安维英格知识产权代理事

务所(普通合伙)61253

专利代理师沈寒酉李斌栋

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

G01N21/95(2006.01)

H01L21/67(2006.01)