CN119832351A 一种晶圆缺陷分类方法、装置及计算机设备 （深圳智现未来工业软件有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119832351A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202510315267.8

(22)申请日2025.03.18

(71)申请人深圳智现未来工业软件有限公司

地址518055广东省深圳市南山区西丽街

道西丽社区留仙大道创智云城1标段1栋D座2701

(72)发明人白肖艳蔡雨桐杜云峰夏敏易丛文管健

(74)专利代理机构北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙)11309

专利代理师周良玉

(51)Int.Cl.

G06V10/764(2022.01)

G06V10/762(2022.01)

G06V10/774(2022.01)

G06V10/82(2022.01)

权利要求书2页说明书10页附图3页

(54)发明名称

一种晶圆缺陷分类方法、装置及计算机设备

(57)摘要

CN119832351A本说明书提供一种晶圆缺陷分类方法、装置及计算机设备。其中，晶圆缺陷分类方法包括：获取同一晶圆制造厂商在晶圆制造过程中得到的晶圆缺陷图像组成的图像集。将该图像集输入权证生成模型，生成用于控制分类模型对图像不同位置关注程度的权重。最后将生成的权重应用于分类模型，并将图像集输入分类模型，得到各个图像的缺陷类型。并针对每个缺陷